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光大证券：半导体设备研究系列之明暗场缺陷检测设备：一“明”一“暗”检缺陷，相辅相成提良率

admin2022-12-12 14:30 208人已围观下载完整内容

简介前道量检测是半导体晶圆制造的关键工序之一，其中明场和暗场检测是重要的检测环节，对芯片制造起着至关重要的作用，是提高产品良率、降低生产成本、推进工艺迭代的重要环节

前道量检测是半导体晶圆制造的关键工序之一，其中明场和暗场检测是重要的检测环节，对芯片制造起着至关重要的作用，是提高产品良率、降低生产成本、推进工艺迭代的重要环节，在多个方面存在很大的不同。

根据应用技术的不同，现阶段的前道缺陷检测主要包括电子束检测和光学检测，其中光学检测技术凭借速度快、无接触、非破坏和易于在线集成等优点被广泛应用。常见的光学缺陷检测系统分为明场系统和暗场系统，二者在照明方法、成像原理等方面存在较大差异，相应地，在技术难度上也有一定差别，整体而言明场系统对照明光束物理特征、成像系统、信噪比等方面的要求更加严格。一般来说，无图形晶圆的缺陷检测使用暗场系统，有图形晶圆的缺陷检测使用明场系统或是二者的结合。

2021年，按销售额计，前道量检测设备在半导体制程设备市场中占比11%，缺陷检测在前道量检测市场占比高达55%，其中有图形晶圆检测设备市场占比约34%，随着下游需求扩张，缺陷检测市场空间广阔。

半导体量检测设备是第四大制程设备环节，诞生大公司KLA。量检测设备的市场规模小于刻蚀、薄膜沉积设备、光刻机，但大于清洗设备、CMP、离子注入、Track、电镀等环节。2021年，按销售额计，前道量检测设备全球市场规模104亿美元，占WFE市场的11%，随着新能源汽车、光伏产业、工业控制等下游需求不断扩张，半导体行业具有较大的发展空间，2021年全球半导体设备市场增速高达44.10%，国内市场增速高达58.23%。SEMI预测，全球半导体设备市场规模将在2022年达到1175亿美元，在2023年达到1208亿美元。前道量检测设备是半导体设备市场的重要组成部分，按销售额计，缺陷检测设备在前道量检测设备中占比约达55%，更具体地，有图形晶圆检测设备占比约为34%，缺陷检测市场前景广阔。

半导体量检测设备市场主要由国外厂商垄断，尽管目前中国大陆已经成为全球最大的前道量检测市场，国内厂商市场份额占比仍然较小。

国际市场上KLA一枝独秀。根据Gartner统计，在2021年全球半导体前道量检测设备市场中，KLA一家独大，按销售额计，KLA的全球占有率高达52%，另外应用材料占比12%，日立高新占比11%，行业CR3达到75%。

国内厂商后起直追，上海精测、中科飞测、东方晶源、睿励、御微等初露头角，天准科技通过收购Muetec、赛腾股份通过收购Optima，布局量检测业务。

明场缺陷检测、暗场缺陷检测也有本土厂商布局：上海精测、中科飞测。

精测电子：明场光学缺陷检测设备已取得突破性订单，参股公司上海精测已斩获两台明场检测BFI100型设备订单，该型号设备主要用于65nm-180nm的半导体产线制程监控。公司在有图形晶圆缺陷检测领域具有较大的发展潜力，有望加速推进进口替代并实现公司市场份额的进一步扩张。

中科飞测：具有暗场缺陷检测的核心技术储备，例如用以实现高精度无图形晶圆缺陷高速检测的深紫外成像扫描技术。

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