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从主流晶圆厂 Q2 招中标数据，看国产设备厂商的突破

admin2022-07-02 05:40 576人已围观

简介从主流晶圆厂 Q2 招中标数据，看国产设备厂商的突破

集微网消息，近年来，受芯片供应短缺以及通讯、汽车电子等产业强劲需求的推动，国内晶圆厂纷纷选择扩产，导致设备需求量攀升，国内设备厂商有望迎来更多机遇。

据集微咨询（JW Insights）统计，中国大陆共有 23 座 12 英寸晶圆厂正在投入生产，总计月产能约为 104.2 万片，与总规划月产能 156.5 万片相比，这些晶圆厂的产能装载率仅达到 66.58%，有较大扩产空间。

在产能扩产方面，上海积塔半导体、华虹半导体等企业纷纷加入其中。据澎湃新闻 5 月 5 日报道，日前，上海积塔半导体明确将在上海临港新片区投资二期项目，新增固定资产投资预计超 260 亿。华虹半导体于 5 月 12 日发布公告称，拟募资 180 亿元，其中约 70%（125 亿元）投资于华虹制造无锡项目；约 11%（20 亿元）用于 8 英寸晶圆厂房优化升级项目；约 13%（25 亿元）用于工艺技术创新研发项目；约 6%（10 亿元）用于补充营运资金。

随着上海积塔半导体、华虹半导体等企业产线加速建设，带动了对半导体设备的极大需求。集微网根据招标平台数据整理统计，上海积塔半导体、华虹半导体等企业需求贡献主要增量。今年二季度，上海积塔半导体、华虹半导体、燕东微电子、杭州积海半导体等企业合计招标 1930 台设备。

从设备类型来看，刻蚀、薄膜沉积等核心设备需求较大。其中，光刻设备 4 台，刻蚀设备 49 台，薄膜沉积 74 台，工艺检测 80 台，离子注入 21 台，CMP20 台，热处理 36 台，清洗设备 79 台，涂胶显影 14 台。

从主流晶圆厂 Q2 招中标数据，看国产设备厂商的突破

从国内招标企业来看，今年二季度，上海积塔半导体共招标 714 台设备，刻蚀设备、薄膜沉积、清洗设备是其重点采购对象；华虹半导体共招标 108 台设备，刻蚀设备、热处理采购数量较多；燕东微电子共招标 89 台；其他企业合计招标 1019 台。

从主流晶圆厂 Q2 招中标数据，看国产设备厂商的突破

从国内中标的设备厂商来看，集微网根据招标平台数据整理统计，今年二季度，北方华创、中微半导体、芯源微、Tokyo Electron（东京电子）、ASML 等企业合计中标 643 台设备，其中，国产设备厂商合计中标 387 台设备。

从主流晶圆厂 Q2 招中标数据，看国产设备厂商的突破

北方华创共中标 80 台设备，中微半导体共中标 22 台设备，芯源微共中标 24 台，屹唐半导体共中标 12 台，拓荆科技共中标 11 台，中科飞测共中标 7 台，上海微电子共中标 6 台，华海清科共中标 8 台；从国外设备厂商来看，ASML 共中标 7 台设备，泛林半导体共中标 16 台设备，KLA 共中标 18 台设备，应用材料共中标 21 台设备，东京电子共中标 87 台设备。

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设备国产替代正当其时，从主要环节来看，国产光刻、刻蚀、薄膜沉积等多点开花，都有不同层面的突破。

在光刻环节，ASML 中标 5 台光刻机，占据行业主导地位；上海微电子中标 1 台步进式光刻机。据了解，上海微电子 SSX600 系列步进扫描投影光刻机可满足 IC 前道制造 90nm、110nm、280nm 关键层和非关键层的光刻工艺需求。此外，今年 2 月，上海微电子成功交付首台 2.5D\3D 先进封装光刻机，这对国内集成电路行业有着很大的意义。

在刻蚀环节，北方华创和中微半导体合计中标 38 台刻蚀设备，超过泛林半导体与东京电子的总和 19 台。北方华创中标 16 台刻蚀设备，分别为上海积塔 13 台、株洲中车时代 1 台、北京大学 1 台、上海新微半导体 1 台。北方华创 ICP（电感耦合等离子体）刻蚀技术优势明显，其自主研发的 14 纳米等离子硅刻蚀机已成功进入主流项目产线。

中微半导体中标 22 台刻蚀设备，分别为华虹半导体 13 台、上海积塔 8 台、株洲中车时代 1 台。中微半导体 CCP（容性耦合等离子体）刻蚀技术精良，已覆盖 65 纳米至 5 纳米，在 5 纳米以下也进展顺利，其 2021 年总共生产交付了 298 腔 CCP 刻蚀设备，产量同比增长 40%。

在薄膜沉积环节，拓荆科技中标 11 台薄膜沉积设备，略低于泛林半导体与应用材料的总和 15 台。拓荆科技主要产品系列为等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备、原子层沉积（ALD）设备和次常压化学气相沉积（SACVD）设备，广泛应用于国内晶圆厂 14nm 及以上制程集成电路制造产线，并已展开 10nm 及以下制程产品验证测试。

目前，国内晶圆厂正进入加速建设期，国产设备厂商渗透率虽有所不足，但已开始奋起直追，光刻、刻蚀、薄膜沉积、涂胶显影等多环节突破，北方华创、中微半导体、拓荆科技等设备厂商订单激增，进步明显。

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